一种电致发光缺陷检测仪的空间分辨力测试板及测试方法

摘要

本发明提供一种电致发光缺陷检测仪空间分辨力测试板，所述空间分辨力测试板上分布有复数个检测方块组，每一所述检测方块组包括复数个具有不同线对条纹宽度的检测方块，每一所述检测方块由复数个黑白间隔的线对条纹组成，不同所述检测方块组内线对条纹的方向不同，同一所述检测方块组内线对条纹的方向相同，每一个线对条纹内黑白条纹的宽度一样，所述空间分辨力测试板具有近红外光可穿透性。本发明还提供一种电致发光缺陷检测仪空间分辨力测试方法，可实现对电致发光缺陷检测仪的空间分辨力进行检测。