一种结合相移干涉与垂直扫描干涉的3D形貌恢复方法

摘要

本发明公开了一种结合相移干涉与垂直扫描干涉的3D形貌恢复方法，该方法通过上位机程序控制压电陶瓷微步距垂直扫描，每一步扫描采集的干涉图转换为数字信号后存储到计算机。采用极值法判别干涉图中每个像素点光强最大值的位置即为该像素点对应的零光程差位置，记录零光程差位置所在的帧数，然后根据相关公式初步计算形貌的高度信息。采用五步相移算法提取干涉条纹的相位信息，结合初步计算的结果，根据相关公式精确恢复3D形貌。本方法解决了相移算法中相邻像素点相位变化不能超过2π的问题，同时具有测量精度高，算法简单，实用性强等特点。