一种高速高精度非接触式三坐标测量机及其测量方法

摘要

本发明公开了一种高速高精度非接触式三坐标测量机及其测量方法，该测量机包括机床，机床上设有主轴，主轴上装接有载物台，工件装夹在载物台上；机床上还设有第一方向进给机构和第二方向进给机构；主轴带动工件旋转，激光位移传感器通过第一方向进给机构和第二方向进给机构对工件表面进行扫描并采集工件上的点的位置数据，经数据处理得到工件的三维形貌。本发明改变了传统三坐标测量机的运动形式，将测量头一个方向的直线运动改变为被测工件的旋转运动，克服了传统三坐标测量机因频繁加减速而造成的测量速度低下的问题，同时测量头采用高精度的激光位移传感器，可大幅度提高三坐标的测量的精度，满足现代生产制造中对测量精度的需求。