一种氮化硅陶瓷微小部件生产制造技术

摘要

本发明公开了一种氮化硅陶瓷微小部件生产制造技术，包括以下步骤：准备生产用材料：陶瓷主粉、烧结助剂、异质粒子、脱泡剂、去离子水、粘结剂；将异质粒子混入去离子水中，加入脱泡剂制成均匀浆料混入陶瓷主粉，搅拌均匀后烘干，然后粉碎成粉末A；利用粉末A加入粘结剂，采用“滚元宵”法制得所需工件，并利用“塑浴”的陶瓷素坯封装法对其进行封装；加入烧结助剂，采用先高后低保温措施对工件进行烧结处理。本发明采取如晶粒细化，微米增韧纳米补强以及先高后低烧结保温法等综合措施提高了氮化硅陶瓷的性能指标。以所谓“塑浴封装法”解决了复杂形状素坯的封装问题而且极大地提高了微小工件封装的生产效率。