一种晶向小晶粒铸造多晶硅的制备方法

摘要

本发明涉及一种晶向小晶粒铸造多晶硅的制备方法，包括如下步骤：1)将晶向的碎单晶硅片平铺在反应器底部，形成籽晶层；继续将硅原料与掺杂元素置于籽晶层上；2)加热反应器使籽晶层上的硅原料与掺杂元素完全熔化，而籽晶层不被完全熔化；3)热交换从反应器底部开始，使晶向的碎单晶硅片作为籽晶，诱导晶体生长，通过定向凝固形成多晶硅。该方法不但得到了低位错密度的小晶粒铸造多晶硅，而且铸锭的晶粒取向统一为晶向，解决了高效铸造多晶硅无法使用碱腐蚀制绒的技术难题。