一种用于光栅位移测量系统的位移计算方法

摘要

一种用于光栅位移测量系统的位移计算方法，包括以下步骤：S1)通过DSP对双路非正交正弦位移信号进行同步采样，获得双路非正交正弦信号数据；S2)根据相关原理计算出双路非正交正弦信号数据的相位差值；S3)根据相位差值，使用非整周期部分信号细分算法，计算出非整周期部分信号所包含的位移量；以及S4)根据整周期计数值计算出整周期部分信号所包含的位移量，加上上述非整周期部分信号所包含的位移量，计算出总位移量。实施本发明提供的双路非正交位移信号计算位移量的方法，减小了位移信号由于非正交带来的位移测量误差，提高了位移测量精度。