射频板条放电的二维电压分布模型及均压方法

摘要

本发明公开了一种射频板条放电的二维电压分布模型及均压方法，建立了射频板条放电的二维电压分布模型，并基于该二维电压分布模型提出在射频板条的纵向并联谐振电感、横向终端并联电抗元件以提高放电电压二维分布的均匀性的均压方法，通过在极板侧面的特定位置设置电感，实现了射频板条放电的均匀分布，解决了大功率射频板条CO2激光器放电不均匀性问题，其并联电感的设置位置以及电感的大小，则根据射频板条放电的二维电压分布模型确定。