一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置

摘要

本发明公开了一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置，在放电室的顶端固定有放电室盖板，在放电室盖板的上方依次安装有所述的RF驱动器和铯注入器，所述的放电室固定安装在探针板上，在所述的探针板上安装有多个朗缪尔探针，所述的磁滤器安装在探针板的下面，所述的锥形支撑座位于探针板的下方，电极系统安装在锥形支撑座上，在锥形支撑座上设有两层金属法兰，所述的支撑环氧位于两层金属法兰之间，在锥形支撑座上还设有冷却水管一，所述的冷却水管一的两端分别位于金属法兰上。本发明通过RF驱动器产生稳定的长脉冲等离子体，在铯注入器的帮助下提高负氢离子的产出，通过引出系统引出束流，束流密度达到350A/m