确定样本上的关注区域的坐标

摘要

本发明提供用于确定样本上的关注区域的坐标的系统及方法。一种系统包含经配置用于针对被检验的样本上的关注区域识别最接近所述关注区域定位的一或多个目标的一或多个计算机子系统。所述计算机子系统也经配置用于使所述一或多个目标的一或多个图像与针对所述样本的参考对准。所述目标的所述图像及所述关注区域的图像是由检验子系统在所述样本的检验期间获取。所述计算机子系统进一步经配置用于基于所述对准的结果确定所述目标的所述图像与所述参考之间的偏移，且基于所述偏移及由所述检验子系统报告的所述关注区域的坐标确定所述关注区域的经修改坐标。