基于腔衰荡技术的痕量气体在线分析装置

摘要

本发明涉及痕量气体监测领域，尤其涉及基于腔衰荡技术的痕量气体在线分析装置。激光器输出一束经波长调制的激光，耦合进入光学谐振腔，光学谐振腔是一个两端装有高反射凹面镜的直腔，腔上开有进气口和出气口，激光在腔内经多次反射后产生谐振，并输出稳定的激光束到激光检测器；光隔离器处于激光器与光学谐振腔之间，防止激光反射回激光器；当激光检测器检测到激光输出功率超过一定阈值后，由信号处理与控制模块通过电流调制关断激光器，通过检测关断激光器后，光学谐振腔输出激光衰减到设定的阈值下限的时间间隔来反求腔内气体的浓度；温控模块负责控制光学谐振腔在特定的温度，并对腔长进行调节。