基于氦气分离膜的压力产品总漏率测试方法

摘要

本发明公开了一种基于氦气分离膜的压力产品总漏率测试系统，主要包括检漏收集室、氦气分离膜窗口、真空泵、氦质谱检漏仪和标定系统，检漏收集室室壁上设置有氦气分离膜窗口，该窗口与真空泵连通，氦质谱检漏仪对氦气分离膜窗口分离出来的氦气量进行测试，给出压力产品的总漏率测量值，标定系统向收集室中充入已知恒定流量示漏气体氦气的流量，检漏仪通过流量反应值来标定最终状态下压力产品的总漏率；其中，本发明的测试方法提高了压力产品总漏率测试的灵敏度，且对收集室的密封性要求较低，大大降低了压力产品总漏率测试系统的建设成本。