用于光子集成电路系统的具有小模场直径的光栅耦合器组件

摘要

本发明公开了一种用于光子集成电路系统的具有小模场直径的光栅耦合器组件。所述组件包括由绝缘体上硅衬底支撑的硅波导，以及由所述衬底支撑并光学耦合到所述硅波导的光栅耦合器。所述组件具有模场直径在5μm至6μm范围中的光纤。所述光纤的一个末端设置成邻近于所述光栅耦合器以限定0.7或更大的耦合效率。