一种多晶硅合成中的急冷装置及急冷工艺

摘要

本发明公开了一种多晶硅合成中的急冷装置及急冷工艺，该装置包括：急冷塔，该急冷塔包括急冷塔的塔顶和急冷塔的塔釜，急冷塔用于对多晶硅合成产生的尾气进行急冷降温；冷凝器，该冷凝器包括冷凝器入口、冷凝器出口，冷凝器入口与急冷塔的塔顶连接，冷凝器出口与急冷塔的塔顶连接。本发明中的多晶硅合成中的急冷装置及急冷工艺解决了多晶硅合成产生的尾气中的硅粉、金属氯化物、聚合物、高沸物等杂质的分离，降低了急冷塔内氯硅烷淋洗量，同时防止了硅粉等颗粒造成急冷塔产生堵塞，大大延长了急冷塔的使用周期。