公开/公告号CN106371385A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-02-01
原文格式PDF
申请/专利权人 安徽德诺科技股份公司;
申请/专利号CN201610828212.8
发明设计人 郜红兵;
申请日2016-09-18
分类号G05B19/048;
代理机构
代理人
地址 230000 安徽省合肥市高新区科学大道102号创业中心7号楼301室
入库时间 2023-06-19 01:28:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-03
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G05B19/048 申请公布日:20170201 申请日:20160918
发明专利申请公布后的驳回
2017-03-01
实质审查的生效 IPC(主分类):G05B19/048 申请日:20160918
实质审查的生效
2017-02-01
公开
公开
机译: 基板处理装置的能耗监控系统和基板处理装置的能耗监控方法
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