使用锯齿状空间滤光片的高效线形成光学系统及方法

摘要

本发明涉及使用锯齿状空间滤光片的高效线形成光学系统及方法。所述线形成光学系统包括：激光源；光束调节光学系统；第一光圈器件；及中继光学系统，该中继光学系统包括具有该锯齿状光圈的第二光圈器件。该锯齿状光圈由相对的锯齿状叶片来界定，相较于使用具有笔直边缘叶片的光圈，该锯齿状叶片被配置以减小在图像平面处所形成的线图像的强度变化。