一种基于温度控制硅镀膜基片光学厚度的可调谐光滤波器及其控制方法

摘要

本发明是一种基于温度控制硅镀膜基片光学厚度的可调谐光滤波器，其特征在于：所述的滤波器包括硅镀膜基片，所述硅镀膜基片的底部设有调节硅镀膜基片温度为10℃‑50℃内变化的半导体致冷器。目的是提供一款利用电热调节的方式调节光滤波器的透射波长，无需任何机械调节部件，另外本发明中所述的技术方案体积小，稳定性好一种基于温度控制硅镀膜基片厚度的可调谐光滤波器。