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一种光学系统鬼像测量装置及其测量方法

摘要

本发明提供一种光学系统鬼像测量装置,沿光路依次设置有光源、扩束准直系统、双路旋转式轴向指向可调分光系统和待测光学系统;双路旋转式轴向指向可调分光系统包括分光组件、旋转组件、轴向伸缩组件、折轴镜、指向调整组件和支撑组件;分光组件设置于轴向伸缩组件的一端,指向调整组件设置于轴向伸缩组件的另一端;折轴镜安装于指向调整组件上;旋转组件带动轴向伸缩组件、分光组件、折轴镜及指向调整组件旋转。使用分光棱镜的特性,将一束准直扩束光束分为两路,通过双路旋转式轴向指向可调分光系统,可实现分光光路绕透射光轴夹角锥面旋转,得到待测光学系统的三维空间鬼像位置的分布。

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法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-08-28

    授权

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  • 2017-01-18

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01M11/02 申请日:20160824

    实质审查的生效

  • 2016-12-21

    公开

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