一种扫描近场光学显微镜装置及新型光纤探针结构

摘要

本发明涉及近场光学探测的光学传感和成像技术领域，公开了一种扫描近场光学显微镜装置及新型光纤探针结构，包括：光学照明系统(1)、探针扫描控制系统(2)、检测系统(3)和光纤探针(4)，所述光纤探针(4)的端面设有金属膜及金属颗粒，所述金属颗粒加工在所述光纤探针(4)的端面的金属膜上。本发明提供的一种扫描近场光学显微镜装置及光纤探针结构，解决了传统孔径型SNOM对光场横向分量敏感而不能对光场纵向分量进行有效检测的缺陷，保持所测样品信息的完整性，提高了信号收集效率。