公开/公告号CN106154059A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-11-23
原文格式PDF
申请/专利权人 四川莱源科技有限公司;
申请/专利号CN201610494260.8
申请日2016-06-29
分类号G01R29/10;
代理机构
代理人
地址 610000 四川省成都市成华区东三环路二段龙潭工业园
入库时间 2023-06-19 00:54:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-12
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01R29/10 申请公布日:20161123 申请日:20160629
发明专利申请公布后的驳回
2016-12-21
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R29/10 申请日:20160629
实质审查的生效
2016-11-23
公开
公开
机译: 近场光学探头的结构,将近场光学探头微开的光入射定位的方法,利用近场光学探头扫描近场光学显微镜和近场光学记录器
机译: 使用探头的近场测量系统,用于近场测量
机译: 使用近场光纤探头的近场光学外差测量系统