基于激光位移传感器反馈的双轴同步运动控制装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于激光位移传感器反馈的双轴同步运动控制装置及方法，所述装置包括双轴同步运动控制装置本体、位移检测系统和控制组件；双轴同步运动控制装置本体包括第一驱动机构、第二驱动机构、第一直线运动平台、第二直线运动平台和实验台；位移检测系统包括长距离激光位移传感器、高精度激光位移传感器、反光板、工作台、第一分度盘和第二分度盘；控制组件分别与第一驱动机构、第二驱动机构、长距离激光位移传感器和高精度激光位移传感器连接。本发明使得双轴同步运动控制的运动范围增加，突破了传统固定型检测装置的局限性，无需回零和校准，使之能稳定、准确、快速地到达同步运动，并能在干扰出现运动不同步时快速恢复同步。