公开/公告号CN106057673A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-10-26
原文格式PDF
申请/专利权人 汉辰科技股份有限公司;
申请/专利号CN201610194708.4
申请日2016-03-31
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人陆勍
地址 中国台湾新竹县宝山乡新竹科学工业园区研新一路18号5楼
入库时间 2023-06-19 00:45:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-05
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/336 申请公布日:20161026 申请日:20160331
发明专利申请公布后的视为撤回
2016-11-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/336 申请日:20160331
实质审查的生效
2016-10-26
公开
公开
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