公开/公告号CN106054524A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-10-26
原文格式PDF
申请/专利权人 成都新图新材料股份有限公司;
申请/专利号CN201610461154.X
申请日2016-06-23
分类号G03F7/004;
代理机构
代理人
地址 610000 四川省成都市新都区工业开发区炬光路
入库时间 2023-06-19 00:42:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-28
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F7/004 申请公布日:20161026 申请日:20160623
发明专利申请公布后的驳回
2017-03-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/004 申请日:20160623
实质审查的生效
2016-10-26
公开
公开
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