法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-24
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F7/00 申请公布日:20160831 申请日:20110520
发明专利申请公布后的视为撤回
2016-09-28
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/00 申请日:20110520
实质审查的生效
2016-08-31
公开
公开
机译: 用于增强局部电场,光吸收,光辐射,材料检测的结构及其制造和使用方法
机译: 用于增强局部电场,光吸收,光辐射,材料检测的结构及其制造和使用方法
机译: 用于增强局部电场,光吸收,光辐射,材料检测的结构及其制造和使用方法。