一种可热生长氧化铝膜的TiAl涂层及其制备方法

摘要

本发明提供了一种可热生长氧化铝膜的TiAl涂层及其制备方法，属于涂层技术领域，可用于钛合金及钛铝金属间化合物等材料的高温氧化防护。所述的具备选择性氧化铝膜形成能力的TiAl涂层，TiAl合金靶材，Al原子比含量为38％‑58％。以TiAl为靶材，通过在物理气相沉积过程中，掺杂微量碳或氮，获得一种具备选择性氧化铝膜形成能力的TiAl涂层，为钛合金和钛铝金属间化合物抗氧化防护涂层设计提供了新的思路和方法，涂层与基体化学相容性好，脆性低；而且工艺简单可控，绿色环保，成本低，适合工业化应用；与现有相关防护涂层相比，具有明显的技术优势。