一种基于多通道声表面波的多物理量传感器

摘要

本发明提供了一种基于多通道声表面波的多物理量传感器，其包括：天线、信号端、接地端和传感器芯片，天线分别与设于传感器芯片上的所述信号端和接地端相连，传感器芯片包括:压电基底、信号传输通道、声表面波温度传感单元、声表面波气体传感单元和声表面波水汽传感单元；信号传输通道将并行设于压电基底上的所述声表面波温度传感单元、声表面波气体传感单元和声表面波水汽传感单元彼此相互连接。本发明采用无线方式传输多种传感物理量，有利于实现传感器组网，进一步推动电力设备监测的网络化。