用于将多个薄的固体层与厚的固体分离的组合制造方法

摘要

本发明涉及一种用于制造固体层的方法。制造方法至少包括下述步骤：提供用于分离多个固体层(4)的固体(2)；在固体(2)中引入或产生缺陷，用于预设第一剥离平面(8)，沿着所述第一剥离平面将第一固体层(4)与固体(2)分离；设置容纳层(10)，用于将固体层(4)保持在固体(2)上；热加载容纳层(10)用于在固体(2)中尤其机械地产生应力，其中裂缝通过应力在固体(2)中沿着剥离平面(8)扩展，所述裂缝将第一固体层(4)与固体(2)分离；接着设置第二容纳层用于将另一固体层(5)保持在减小了第一固体层(4)的固体(2)上；在固体(2)中引入或产生缺陷，用于预设第二剥离平面(9)，沿着所述第二剥离平面将第二固体层(5)与固体(2)分离；热加载第二容纳层用于在固体(2)中尤其机械地产生应力，其中裂缝通过应力在固体(2)中沿着第二剥离平面(9)扩展，所述裂缝将第二固体层(5)与固体(2)分离。