一种高灵敏表面增强拉曼散射多孔硅光子晶体生物传感器件的制备方法

摘要

本发明公开一种高灵敏表面增强拉曼散射多孔硅光子晶体生物传感器件的制备方法，该方法包括以下步骤：S1、采用电化学腐蚀法，将N型单晶硅的表面制做成大孔层‑介孔层交替堆叠的多孔硅布拉格反射镜；S2、将所述多孔硅布拉格反射镜做为基底材料，制备附着在孔道中的银纳米颗粒，得到多孔硅光子晶体生物传感器件。本发明利用光子晶体的特殊光子传输特性，以及光学长程池效果，使得光与物质作用长度增加，有效提高器件检测信号强度和灵敏度，拉曼信号强度约为单层多孔硅的5倍，检测极限比单层多孔硅提高两个数量级。