用于对支架状物件进行光学检查和分析的设备和方法

摘要

一种设备(100)，包括用于以可旋转的方式保持和定位至少一个支架状物件(400)的装置(200)以及用于对支架状物件(400)的至少内表面和外表面(I、O)进行照明的装置(30E、30B)，装置(30E、30B)至少包括用于同时对支架状物件(400)进行照明的宽场epi照明装置(30E)和扩散式背部照明装置(30B)。该照明装置还可以包括用于对支架状物件(400)的侧表面(S)进行检查的扩散式侧部照明装置(30S)。还设置有用于获取支架状物件(400)的图像的装置，该装置包括至少一个显微镜物镜透镜(610)和至少一个相机(620)。