液体钛氧化物组合物、用于形成所述组合物的方法和用于使用所述组合物蚀刻基材的或覆盖基材的材料层的方法

摘要

提供了液体钛氧化物组合物、用于形成此类组合物的方法和用于使用此类组合物蚀刻材料层的方法。依照一个示例性的实施方案，液体钛氧化物组合物包含溶剂体系、有机钛酸酯和具有约140℃至约400℃的沸点的高沸点溶剂。