多层错位耦合准直器、辐射器、探测装置及扫描设备

摘要

一种多层错位耦合准直器，其包括若干个准直层，每个准直层上设有若干准直孔，至少有两个准直层相互间是错位耦合的。本发明提出的多层错位耦合准直器除了可以实现相较于单层准直器的性能的提升和多性能选择的功能外，还具有较好的加工可行性。由于将准直器分为多个准直层后，每个准直层厚度较薄，所以加工精度容易保证。