CMOS图像传感器像素、制造方法及图像捕获设备

摘要

一种CMOS图像传感器像素、制造方法及图像捕获设备。所述CMOS图像传感器制造方法包括：提供衬底材料，该衬底材料特征在于第一尺度和第二尺度；在衬底材料上限定有源区，该有源区特征在于第三尺度和第四尺度；在衬底材料上限定非有源区，该非有源区不同于有源区，该非有源区特征在于第五尺度和第六尺度，该非有源区主要包括纯硅材料；在有源区内限定耗尽区；在耗尽区上方形成n型区，该n型区在有源区内；在有源区内形成栅极区；形成掺杂区，该掺杂区在非有源区内，该掺杂区特征在于包括在预定浓度范围的至少一种物质；以及对掺杂区退火形成复数个空隙。从而可以减少光晕效应。