一种用于钎焊的氧化铝陶瓷金属化方法

摘要

一种用于钎焊的氧化铝陶瓷金属化方法，步骤为：(1)将氧化铝陶瓷进行清洗，然后在1000～1200℃保温烧结50～70min；(2)采用真空磁控溅射、真空蒸镀或离子镀的方法在氧化铝陶瓷未覆盖铝箔部位的表面依次沉积Ti、Zr或Hf金属层，Mo或Cr金属层，Ni或Cu金属层；(3)将沉积了金属层的氧化铝陶瓷置于真空烧结炉中并对真空烧结炉抽真空，当炉内真空度达到4×10-3Pa时开始加热，将炉内温度升至430～480℃并在该温度保温20～40min，然后再升温至900～1200℃保温20～60min，保温结束后随炉冷却至室温即完成氧化铝陶瓷的金属化，在上述升温和保温过程中保持炉内真空度高于6×10-3Pa。本发明能简化工艺，降低金属化成本，并提高高纯氧化铝陶瓷的金属化效果。