一种基于掺金氧化钒的室温甲烷气体传感器制备方法

摘要

本发明提供了一种基于掺金氧化钒的室温甲烷气体传感器制备方法，首先溅射，淀积交叉金属铂电极，通过直流磁控溅射镀金属钒纳米薄膜，再溅射掺杂金属金颗粒，然后利用快速退火技术进行氧化生成掺金氧化钒。本发明方法可以降低传感器的工作温度，从而影响整个敏感材料的电导率的变化，提高传感器的活性。除此之外，其还能大幅度提高气敏传感器的灵敏度。