在氧环境中通过使用铝源在基材上生长氧化铝以产生透明的抗刮窗的方法

摘要

用于尤其是使用氧化铝层涂布基材例如玻璃的系统和方法，以产生抗刮和抗碎裂基质，所述基质包含在透明和抗碎裂基材的一侧或多侧上沉积的薄的抗刮氧化铝膜，用于消费者和移动装置，例如表面玻璃、手机、平板电脑、个人电脑等。所述系统和方法可包括反应性热蒸发技术。反应性热蒸发技术的优点包括任意利用高氧压力，允许在基材的表面处氧化铝较高的生长速率，最终允许较不昂贵的过程。该反应性热蒸发过程的另一个优点在于其不利用通常存在于传统的反应性溅射技术中的电场。