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可循环使用的掩模板板框及具有它的掩模板

摘要

本发明涉及一种可循环使用的掩模板板框及具有它的掩模板,其中,掩模板板框包括框体及连接块,所述框体的中央形成镂空区,所述镂空区的外围形成框沿,所述框沿的顶面设有固定孔;所述连接块以可拆卸方式固定于所述固定孔内,且所述连接块具有一适于与掩模板膜片贴附的贴合面。根据本发明提供的可循环使用的掩模板板框及具有它的掩模板,可方便于掩模板膜片的更换,而板框可以重复循环使用,大幅度降低成本。

著录项

  • 公开/公告号CN105200370A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-12-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 唐军;

    申请/专利号CN201510705296.1

  • 发明设计人 唐军;

    申请日2015-10-27

  • 分类号C23C14/04(20060101);C23C14/24(20060101);

  • 代理机构44228 广州市南锋专利事务所有限公司;

  • 代理人郑学伟;叶利军

  • 地址 518000 广东省深圳市沙井和一村蚝一西部工业区A12栋3楼

  • 入库时间 2023-12-18 13:18:56

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-11-02

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C14/04 申请公布日:20151230 申请日:20151027

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2016-06-08

    专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C14/04 登记生效日:20160519 变更前: 变更后: 申请日:20151027

    专利申请权、专利权的转移

  • 2016-01-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/04 申请日:20151027

    实质审查的生效

  • 2015-12-30

    公开

    公开

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