用于大半导体行业的抽真空装置

摘要

本发明公开了一种大半导体行业(如SEMI？PV？LED？FPD等)用抽真空装置，本身不需额外功耗的减压模块利用外部高压载气产生文丘里效应，降低真空泵排气端的压力，从而降低真空泵的负载，达到真空泵节能的目的。本发明的大半导体行业(如SEMI？PV？LED？FPD等)的抽真空装置，包括真空泵和用于降低所述真空泵负载的减压模块，所述真空泵包括泵体，泵入口管，五级转子，驱动转子转动的泵马达以及连接所述真空泵和所述减压模块的真空管道。本发明可与其他工艺设备连接，将该设备内部抽真空。