一种基于变焦成像透镜的光纤端面显微干涉测量系统

摘要

本发明公开了一种基于变焦成像透镜的光纤端面显微干涉测量系统，属于光学干涉测量技术领域。该测量系统由白光光源、聚光镜A、孔径光阑、视场光阑、聚光镜B、分光棱镜、Mirau干涉物镜、压电陶瓷扫描台、压电陶瓷扫描台驱动器、电动平移台、电动平移台驱动器、待测光纤、变焦成像透镜、CCD和上位机构成；本发明满足了不同视场条件下检测光纤端面的需求；有效解决了更换显微物镜的高成本和图像拼接造成的边缘模糊问题。