一种避免晶边铝剥落缺陷源头的方法及装置

摘要

本发明公开了一种避免晶边铝剥落缺陷源头的方法及装置，通过在工艺腔中设置一掩蔽罩，对沉积有铝薄膜的晶圆表面中间区域进行掩蔽保护，并应用物理气相沉积方法在晶圆边缘沉积铝薄膜刻蚀阻挡层，从而避免了后续晶边铝薄膜被刻蚀而产生剥落源头，可从根本上消除剥落缺陷源头，为在线缺陷去除提供保障，并为大批量晶圆生成提供良率保障。