一种基于激光束衍射光斑特性的超精密车削加工表面三维微观形貌测量装置

摘要

一种基于激光束衍射光斑特性的超精密车削加工表面三维微观形貌测量装置，由半导体激光器、线性衰减片、小孔光阑、被测工件、回转工作台、透镜、CCD相机、铝合金面包板、激光器电源和笔记本电脑组成，半导体激光器输出的激光束通过线性衰减片后经过小孔光阑，小孔光阑对激光束进行滤波，被调制的激光束作为入射光照射到被测工件表面，在被测工件表面发生衍射现象，产生衍射光斑，透镜将激光束各级衍射光斑调整为平行光束，利用CCD相机对激光束各级衍射光斑进行测量并将测量结果传输到笔记本电脑中，通过图像采集软件对衍射光斑图像进行采集。本装置光路系统调整方便，对测量环境要求不严格，具有一定的便携性。