高分辨率的基于MEMS的阿达玛光谱法

摘要

一种光谱仪，包括：准直元件，该准直元件被配置成用于使光束准直到交叉-色散元件和中阶梯光栅中的第一者中，该光栅与该交叉-色散元件处于光连通；聚焦元件，该聚焦元件用于接收来自该交叉-色散元件和该中阶梯光栅中的第二者的光并且将该光的波长聚焦到空间光调制器上；该空间光调制器被配置成用于将这些波长选择性地引导到用于检测的检测器上。提供了一种使用方法和制造方法。