一种用于聚焦和引导电子束的圆筒形永磁体系统

摘要

一种用于聚焦和引导电子束的圆筒形永磁体系统，由第一永磁体(1)、第二永磁体(2)第三永磁体(3)、磁体内筒(13)、支撑三个永磁体的外筒和法兰组成。所述第一永磁体(1)、第二永磁体(2)和第三永磁体两端均布置有法兰，三个永磁体支撑固定在外筒上，通过法兰相互连接。第一永磁体(1)的充磁方向沿径向指向磁体轴线，第二永磁体(2)的充磁方向沿轴向指向第一永磁体(1)，第三永磁体(3)的充磁方向沿径向背离磁体轴线。所述三个永磁体由多层磁环组成，磁环由扇形磁钢拼接而成。调整三个永磁体的尺寸大小、相互位置关系和内径阶梯变化，得到满足不同磁场位型和均匀度要求的轴向磁场。