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行波管阴极蒸发速率的检测装置及阴极蒸发速率的测量方法

摘要

本发明公开了一种行波管阴极蒸发速率的检测装置及其检测方法,它包括:真空系统和与测试电源;真空系统包括样品室(1),与样品室(1)相连的真空泵,样品室(1)内,从上至下依次安装有钨丝(2)、阳极片(3)、挡板(4)和阴极组件(5);测试电源包括电源外壳,安装在电源外壳内的电源开关(6),微电流计(7),阳极-钨丝电源(8),阴极-阳极电源(9),灯丝电源(10)和钨丝电源(17)。本发明提供的行波管阴极蒸发速率的检测装置,结构设计合理,操作性强,能够实现多工位阴极蒸发速率的测量;能够实现同一个系统内不同试验条件的测量(如真空度变化);测量周期短,测量效率更高,具有重要的应用价值。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-03-22

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N27/49 申请公布日:20151111 申请日:20150813

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2015-12-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N27/49 申请日:20150813

    实质审查的生效

  • 2015-11-11

    公开

    公开

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