法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-12-08
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C04B35/83 申请公布日:20150923 申请日:20150702
发明专利申请公布后的驳回
2015-10-21
实质审查的生效 IPC(主分类):C04B35/83 申请日:20150702
实质审查的生效
2015-09-23
公开
公开
机译: 单晶片热壁快速热化学气相沉积法低温沉积硅基薄膜
机译: 单晶片热壁快速热化学气相沉积法低温沉积硅基薄膜
机译: 单晶片热壁快速热化学气相沉积法低温沉积硅基薄膜