航天器运动部件表面的掺硅类金刚石膜层以及结合到航天器运动部件表面的方法

摘要

一种航天器运动部件表面的掺硅类金刚石膜层以及结合到航天器运动部件表面的方法，属于金属零部件表面保护材料领域。包括基底层、结合于基底层表面的梯度过渡层和结合于梯度过渡层表面的类金刚石镀膜层，特点：基底层为钛层，梯度过渡层为钛和硅梯度过渡层，类金刚石镀膜层为掺硅类金刚石膜层。步骤：对航天器运动部件基体的表面进行超声波清洗；将得到的清洁基体引入真空溅射镀膜机中且在加热状态下抽真空；对清洁基体表面进行轰击清洗；在轰击清洗基体表面沉积钛层；对钛层的表面沉积钛和硅梯度过渡层；在钛和硅梯度过渡层的表面形成掺硅类金刚石膜层。具有良好的润滑和耐磨性，提高运动的可靠、稳定性和延长寿命；步骤简练、工艺参数易控。