公开/公告号CN104835712A
专利类型发明专利
公开/公告日2015-08-12
原文格式PDF
申请/专利权人 沈阳拓荆科技有限公司;
申请/专利号CN201510133582.5
申请日2015-03-25
分类号
代理机构沈阳维特专利商标事务所(普通合伙);
代理人甄玉荃
地址 110179 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1-1号三层
入库时间 2023-12-18 10:16:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-30
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J37/32 申请公布日:20150812 申请日:20150325
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-09-09
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 申请日:20150325
实质审查的生效
2015-08-12
公开
公开
机译: 等离子体处理装置,三维喷淋头电极组件的处理方法以及半导体基板
机译: 一种直接写入和喷涂等离子体的技术应用于一种半导体行业
机译: 直接注入和等离子体注入应用于一种半导体行业