在由晶体材料制成的物体上产生原子上尖锐的刃口的方法

摘要

描述了一种用以制作原子上尖锐的切削装置的过程。该过程可提供生产由单晶材料(如，例如，蓝宝石、金刚砂、硅等)制成的原子上尖锐的切削装置的成本效益合算且有效的技术。该过程可包括识别和选择晶体材料的优选几何定向，其中可沿单晶材料的优选自然平面促进解理，因此最终产生原子上尖锐的刃口。单晶材料可在选定的表面位置处由光阻材料覆盖，该光阻材料布置成关于优选平面预定对准，以防止单晶材料的未暴露的表面部分处的蚀刻，同时容许单晶材料的暴露部分处的蚀刻。一旦蚀刻达到预定端点，则原子刃口可由物理解理来产生。