工程变更临界点的确认系统及确认方法

摘要

本发明揭示了一种工程变更临界点的确认系统及确认方法，所述确认系统包括产品成熟信息系统，集成系统及客户端；所述产品成熟信息系统作为产品成熟度的信息知识库，维护在生产线上生产的产品，并定义产品成熟度的等级状态；所述客户端通过集成系统与所述产品成熟信息系统互通。在该确认系统中，利用集成系统从客户端获取信息，在产品成熟信息系统中设置相关产品的产品成熟度的等级状态，并将设置产品成熟度的等级状态后的产品信息传递至客户端，从而找到有效的工艺变更的临界点，改善了生产效率，降低了风险。

说明书

技术领域

本发明涉及半导体产品工艺管控体系技术领域，特别是涉及以产品的成熟 度作为工程变更临界点的确认系统及确认方法。

背景技术

半导体的工艺流程及其复杂，变更各种参数对制程影响的范围较大，一个 错误的变更很可能会影响产品的良率，导致生产效率的低下，降低客户满意度。 因此，工艺变更需要通过完整的体系和系统对其进行控制和评测。

由于集成电路不断发展，产品不断更新换代，Fab（工厂）经常会研发生产 很多新产品。由于制造的过程相当复杂，一个新的产品在生产过程中会频繁发 生工程变更，从而不断的改善制程，达到提升良率及生产效率的目的，使产品 逐渐成熟。

产品初期研发的工艺变更需要完整的体系和系统控制，否则会导致研发生 产周期变长。产品初期的工艺变更具有影响小，频率高的特点，需要通过不断 的工程试验，调整参数，及时找出工艺流程中存在的问题，通过工艺变更不断 的使得工艺流程符合标准。稳定成熟的产品工艺变更具有影响大，频率低的特 点。因此，需要找到有效的工艺变更的临界点，不仅能够提高效率又能有效控 制风险。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种工程变更临界点的确认系统及确认方法，以 改善生产效率，降低风险。

为解决上述技术问题，本发明提供一种工程变更临界点的确认系统，包括：

产品成熟信息系统，集成系统及客户端；所述产品成熟信息系统作为产品 成熟度的信息知识库，维护在生产线上生产的产品，并定义产品成熟度的等级 状态；所述客户端通过集成系统与所述产品成熟信息系统互通。

可选的，对于所述的工程变更临界点的确认系统，所述产品成熟度的等级 状态包括：

产生状态，表示新的产品，未达到工艺变更系统化的临界点；

冻结状态，表示成熟产品，达到工艺变更系统化的临界点；

解冻状态，表示将成熟产品返回到工艺变更且不用系统化。

可选的，对于所述的工程变更临界点的确认系统，所述客户端包括报表系 统，制造执行系统及工艺变更需求系统。

可选的，对于所述的工程变更临界点的确认系统，所述集成系统定期从报 表系统获得各个产品的当日的批数量，统计该产品的总产量，并更新信息知识 库。

本发明提供一种工程变更临界点的确认方法，包括；

利用集成系统从客户端获取信息，在产品成熟信息系统中设置相关产品的 产品成熟度的等级状态，并将设置产品成熟度的等级状态后的产品信息传递至 客户端。

可选的，对于所述的工程变更临界点的确认方法，产品成熟度的等级状态 包括：

产生状态，表示新的产品，未达到工艺变更系统化的临界点；

冻结状态，表示成熟产品，达到工艺变更系统化的临界点；

解冻状态，表示将成熟产品返回到工艺变更且不用系统化。

可选的，对于所述的工程变更临界点的确认方法，所述客户端包括报表系 统，所述集成系统从报表系统获取产品信息，当产品达到设定规格时，设置为 冻结状态。

可选的，对于所述的工程变更临界点的确认方法，所述客户端还包括制造 执行系统，所述集成系统将产品成熟度的等级状态传递至制造执行系统，进行 自动化的处理。

可选的，对于所述的工程变更临界点的确认方法，所述客户端还包括工艺 变更需求系统，所述集成系统将产品成熟度的等级状态传递至工艺变更需求系 统，以决定产品的工程变更流程管控。

可选的，对于所述的工程变更临界点的确认方法，若设置为冻结状态，则 之后该产品的工程变更需要通过FECP的系统流程管控。

可选的，对于所述的工程变更临界点的确认方法，对于设置为冻结状态的 产品，能够根据工艺需求而被设置为解冻状态。

可选的，对于所述的工程变更临界点的确认方法，所述解冻状态存在一解 冻期限，设置为解冻状态的产品在该解冻期限内回归冻结状态。

与现有技术相比，本发明提供的工程变更临界点的确认系统及确认方法中， 通过产品成熟信息系统对产品的成熟度定义等级状态，使得客户端能够得知相 关产品的等级状态，从而找到有效的工艺变更的临界点；

进一步的，所述客户端还包括制造执行系统，所述集成系统将产品成熟度 的状态传递至制造执行系统，从而进行自动化的处理，提高了生产效率；

进一步的，所述客户端还包括工艺变更需求系统，所述集成系统将产品成 熟度的状态传递至工艺变更需求系统，以决定产品的工程变更流程管控，从而 有效的控制了风险。

附图说明

图1为本发明中工程变更临界点的确认系统的方块图；

图2为本发明中工程变更临界点的确认方法的流程图。

具体实施方式

下面将结合示意图对本发明的工程变更临界点的确认系统及确认方法进行 更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可 以修改在此描述的本发明，而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应 当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公 知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在 任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标， 例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另 外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人 员来说仅仅是常规工作。

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本发明。根据下面说明和 权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简 化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例 的目的。

本发明的核心思想在于，提供一种工程变更临界点的确认系统及确认方法， 所述工程变更临界点的确认系统包括：产品成熟信息系统，集成系统及客户端； 所述产品成熟信息系统作为产品成熟度的信息知识库，维护在生产线上生产的 产品，并定义产品成熟度的等级状态；所述客户端通过集成系统与所述产品成 熟信息系统互通。所述工程变更临界点的确认方法包括：利用集成系统从客户 端获取信息，在产品成熟信息系统中设置相关产品的产品成熟度的等级状态， 并将设置产品成熟度的等级状态后的产品信息传递至客户端。

以下列举所述工程变更临界点的确认系统及确认方法的较优实施例，以清 楚说明本发明的内容，应当明确的是，本发明的内容并不限制于以下实施例， 其他通过本领域普通技术人员的常规技术手段的改进亦在本发明的思想范围之 内。

基于上述思想，下面提供工程变更临界点的确认系统及确认方法的较优实 施例，请参考图1及图2，图1为本发明中工程变更临界点的确认系统的方块图； 图2为本发明中工程变更临界点的确认方法的流程图。如图1、2所示，包括：

步骤S11：利用集成系统2从客户端3获取信息；所述集成系统例如可以是 企业集成中间件（Tuxedo），所述客户端3包括报表系统31，较佳的，可以定 期从报表系统31获得各个产品的当日的批（Lot）数量，并统计相应各个产品的 总产量。

接着，进行步骤S12，在产品成熟信息系统（Product Frozen System）1中设 置相关产品的产品成熟度的等级状态；在该步骤中，所述产品成熟度的等级状 态划定如下：产生状态（created），表示新的产品，未达到工艺变更系统化的临 界点；冻结状态（frozen），表示成熟产品，达到工艺变更系统化的临界点；解 冻状态（unfrozen），表示将成熟产品返回到工艺变更且不用系统化。结合所划 定的产品成熟度的等级状态，根据在步骤S11中由报表系统31中获取的信息， 将相应的产品设置为相应的状态。举例而言，当某一产品的某一或某些类型的 批（lot）达到用户设定的规格，在产品成熟信息系统中结合设计要求，日期限 定等条件计算出产品的冻结日期（Frozen Date），在冻结日期的当天将该类型产 品的产品成熟度的等级状态划定为冻结状态，并通知主管相应产品的负责人， 从此所有关于该类型产品的工程变更都需要通过FECP（Fab Engineering Change  Proposal）的完整系统流程管控。

然后，进行步骤S13，将设置产品成熟度的等级状态后的产品信息传递至客 户端3。具体的，所述客户端3还包括制造执行系统（MES）32和工艺变更需 求系统（MESS）33。在该步骤中，包括由集成系统2将产品成熟度的等级状态 传递至制造执行系统32，进行自动化的处理，进而提高了生产效率；还包括由 所述集成系统2将产品成熟度的等级状态传递至工艺变更需求系统33，以决定 产品的工程变更流程管控，例如所述所有关于该类型产品的工程变更都需要通 过FECP（Fab Engineering Change Proposal）的完整系统流程管控，就是当等级 状态设置为冻结状态时所进行的动作。

此外，由于工艺的变动性，例如对于设置为冻结状态的产品，当需要进行 工艺变更时，可以根据工艺需求而被设置为解冻状态，较佳的，所述解冻状态 存在一解冻期限，设置为解冻状态的产品在该解冻期限内回归冻结状态，从而 保证成熟产品的工艺变更的可控性。

本发明提供的工程变更临界点的确认系统及确认方法中，通过产品成熟信 息系统对产品的成熟度定义等级状态，使得客户端能够得知相关产品的等级状 态，从而找到有效的工艺变更的临界点；

进一步的，所述客户端还包括制造执行系统，所述集成系统将产品成熟度 的状态传递至制造执行系统，从而进行自动化的处理，提高了生产效率；

进一步的，所述客户端还包括工艺变更需求系统，所述集成系统将产品成 熟度的状态传递至工艺变更需求系统，以决定产品的工程变更流程管控，从而 有效的控制了风险。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发 明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及 其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。