一种厚膜热释电敏感元及其制备方法

摘要

本发明属于电子材料与元器件技术领域，具体涉及了一种厚膜热释电红外敏感元及其制备方法。厚膜热释电红外敏感元，包括：用作公用电极和红外辐射吸收面厚度为10nm-500nm的上电极；设置在上电极和下电极之间，由热释电陶瓷粉体和有机热释电聚合物复合制备，厚度为1-100um的热敏感层；用于引出热释电响应信号厚度为10nm-1um的下电极。根据热释电红外敏感元类型不同，对所述红外敏感元的上电极和下电极进行图形化。应用于民用领域的各类安全防盗、人体探测等。具有热绝缘效果好，对微弱环境温度变化更敏感，灵敏度更高，且制造工艺简单，成本低，易于批量加工，有利于产业化生产。