快速升温处理过程升温及降温控制方法

摘要

本发明公开了一种铜(Cu)铟(In)镓(Ga)硒(Se)太阳能电池样片在快速升温热处理过程当中，升温,降温控制的方法及其设定方法，属于半导体材料热处理制造技术领域。本发明通过利用控制卤钨灯的点，灭时间(即通过设定程序控制升温，降温的时间和维持时间长短)，从而控制真空加热室内的温度升温，降温速度。通过该方法，突破RTP处理过程升温可控，而降温过程控制单一的限制，能够简单的实现升温和慢速降温的多样化热处理工艺。