用于产生太赫兹波、微波的双共振垂直腔面发射激光器结构

摘要

用于产生太赫兹波、微波的双共振垂直腔面发射激光器结构涉及光电子器件领域。本发明从下至上依次包括下金属电极、n型衬底、下分布反馈布拉格反射镜、n型相位匹配层、增益区、p型相位匹配层、上分布反馈布拉格反射镜、钝化层、上金属电极，其特征在于：n型相位匹配层与增益区、p型相位匹配层的光学厚度与激光在下布拉格反射镜和上布拉格反射镜中的能量穿透深度一起构成激光谐振腔长d，谐振腔的长度d要求满足d＝c/2ω，其中如果0.1THz<ω<10THz，则为太赫兹波；如果300MHz<ω<300GHz，则为微波。本发明与现有的太赫兹光源相比，具有集成化、小型化、室温工作、易形成二维阵列的优点。